真空度測試儀測試原理和檢測方法
更新時間:2011-08-30 點擊次數(shù):1948次
真空度測試儀試原理將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場,這樣在脈沖磁場的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運動,并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當測知離子電流后,通過離子電流一真空度曲線,由計算機自動完成真空度的計算,并顯示真空度值。
真空度測試儀傳統(tǒng)的檢測方法是“耐壓法”,即真空開關(guān)處于開斷狀態(tài)下,在動靜觸頭之間施加一定的電壓,檢測其泄漏電流的大小,由此推斷真空管的好壞。這種方法的優(yōu)點是:操作簡單;缺點是:只能定性地檢測真空管的好壞;而且真空度在10-4~10-1Pa之間無法準確分辨,所以無法判斷泄漏的發(fā)展趨勢(即同一個真空開關(guān)和上次相比有多大程度的泄漏)。